- распыление в ВЧ-разряде
- radio-frequency sputtering
Русско-английский словарь по электронике. 2009.
распыление в ВЧ-разряде
Look at other dictionaries:
РАСПЫЛЕНИЕ — твёрдых тел разрушение твёрдых тел под действием бомбардировки их поверхности заряженными и нейтральными частицами (атомами, ионами, нейтронами, электронами и др.) и фотонами. Впервые наблюдалось как разрушение катода в газовом разряде (отсюда… … Физическая энциклопедия
катодное распыление — [cathodic sputtering] получение тонкой пленки покрытия распылением материала катода при газовом разряде; Смотри также: Распыление центробежное распыление распыление газом распыление водой … Энциклопедический словарь по металлургии
Катодное распыление — ионное распыление, разрушение отрицательного электрода (катода) в газовом разряде под действием ударов положительных ионов. В более широком смысле разрушение твёрдого вещества при его бомбардировке заряженными или нейтральными частицами.… … Большая советская энциклопедия
Магнетронное распыление — Магнетронное распыление это технология нанесения тонких плёнок на подложку с помощью магнетрона. Основы технологии Принцип магнетронного распыления основан на образовании над поверхностью катода кольцеобразной плазмы в результате… … Википедия
КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ — распыление материала (см.) при газовом разряде вследствие бомбардировки катода положительными ионами. В газоразрядных приборах К. р. вредное явление. Осаждение металлов посредством К. р. применяется для нанесения весьма тонких (доли микрометра)… … Большая политехническая энциклопедия
КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ — разрушение тв. тел при бомбардировке их поверхности атомами, нонами и нейтронами (впервые наблюдалось как разрушение катода в газовом разряде). Продукты распыления атомы, положит. и отрицат. ионы, а также нейтр. и ионизиров. ат. комплексы… … Физическая энциклопедия
катодное распыление — Получение покрытия распылением материала катода при газовом разряде. [ГОСТ 9.008 82] Тематики покрытия металл. и неметалл. EN cathode sputtering DE Kathodenzerstäubung FR pulvérisation cathodique … Справочник технического переводчика
катодное распыление — Разрушение поверхностного слоя катода при электрическом разряде вследствие ударов положительных ионов о катод … Политехнический терминологический толковый словарь
Плазменные ускорители — устройства для получения потоков плазмы (См. Плазма) со скоростями 10 103 км/сек и более, что соответствует кинетической энергии ионов от Плазменные ускорители10 эв до 105 106 эв. На нижнем пределе энергии П. у. соседствуют с генераторами … Большая советская энциклопедия
ИОННЫЙ ИСТОЧНИК — устройство для получения в вакууме направленных ионных потоков (пучков). И. и. важная часть ускорителей заряж. ч ц, масс спектрометров, ионных микроскопов, установок для термояд. синтеза и разделения изотопов и мн. др. устройств. В И. и.… … Физическая энциклопедия
ИЗОТОПОВ РАЗДЕЛЕНИЕ, — ИЗОТОПОВ РАЗДЕЛЕНИЕ, выделение отдельных изотопов из естеств. их смеси или обогащение смеси отдельными изотопами. Первые попытки И. р. сделаны Ф. У. Астоном (F. W. Aston, 1949) и др. гл. обр. для обнаружения изотопов у стабильных элементов,… … Физическая энциклопедия
